Sommaire

Avant-propos
    Salvador Mir

Les microsystèmes électro-mécaniques
    Libor Rufer

Les microsystèmes thermiques
    Salvador Mir, Benoît Charlot, Fabien Parrain

Les capteurs magnétiques en technologies microsystèmes
    Fabien Parrain

Les MOEMS et les imageurs CMOS
    Sergio Martinez, Jérôme Goy

Les capteurs chimiques en technologies microsystèmes
    Fabien Parrain

Perspectives des microsystèmes sur silicium
    Salvador Mir, Benoît Charlot

Index

19 août 2003